ورود
مقالات فارسیISIکنفرانسهاژورنالها

Design and Simulation of a Low Actuation Voltage Capacitive MEMS Switch

محل انتشار: مجله مهندسی برق مجلسی، دوره: 8، شماره: 3
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 90

فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:
https://civilica.com/doc/1752386

شناسه ملی سند علمی:

JR_MJEE-8-3_008

تاریخ نمایه سازی: 13 شهریور 1402

چکیده مقاله:

In this paper we have proposed a new switch or structure for reducing actuation voltage. This switch is compared with four conventional structures considering the force range of ۱uN to ۳uN. We have used the ANSYS software for design and simulation for the switch parameters such as actuation voltage, collapse voltage, spring constant and resonant frequency. Small size (half the size of other proposed materials), which can reduce the manufacturing cost, and also low-valued spring constant, which results inactuation voltage reduction, are among more noticeable features of the proposed switch.

کلیدواژه ها:

MEMS ، en ، Switches ، Collapse Voltage ، Sensitivity ، Fixed-Fixed Beam

نویسندگان

Ayub Soltani

Sadjad Institute of Higher Education, Mashhad, Iran

Mahmoud Ghasemi

Sadjad Institute of Higher Education, Mashhad, Iran

Khalil Mafinezhad

Sadjad Institute of Higher Education, Mashhad, Iran

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • S., Lucyszyn, “Advanced RF Mems”, New York: Cambridge University Press, ...
  • G.M., Rebeiz, “RF MEMS Theory, Design, and Technology”, John Wiley ...
  • G.M., Rebeiz, "RF MEMS Switches: Status of Technology," in The ...
  • D., Hyman, J., Lam, B., Warneke, A., Schmitz, T.Y., Hsu, ...
  • J.B., Muldavin , G.M., Rebeiz, “High-isolation CPW MEMS shunt switches-Part ...
  • C.L., Goldsmith, Z., Yao, S., Eshelman, and D., Denniston, “Performance ...
  • D., Hyman , M., Mehregany, “Contact physics of gold microcontacts ...
  • R.E., Mihailovich, M., Kim, J.B., Hacker, E.A., Sovero, J., Studer, ...
  • B., Pillans, S., Eshelman, A., Malczewski, J., Ehmke, and C., ...
  • M., Kim, J.B., Hacker, R.E., Mihailovich, and J.F., DeNatale, “A ...
  • J., Bernhard, N.W., Chen, R., Clark, M., Feng, C., Liu, ...
  • Y., Mafinejad, A., Kouzani, K., Mafinejad, “Review of low actuation ...
  • J.M., Huang, K.M., Liew, C.H., Wong, S., Rajendran, M.J., Tan ...
    • نمایش کامل مراجع