اندازهگیری جابجایی میکروعملگرU شکل الکتروترمال با استفاده از میکروپیسوسنسور
محل انتشار: سومین کنفرانس ملی مهندسی ساخت و تولید
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,050
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NMEC03_077
تاریخ نمایه سازی: 12 دی 1391
چکیده مقاله:
سیستم های میکروالکترومکانیکی یا ممز ترکیبی از اجزای مکانیکی سنسورها عملگرها و قطعات الکترونیکی برروی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی می باشد ازجمله ادوات ممز میتوان به میکروگریپرها میکروموقعیت دهندها میکروکلمپ ها میکروسنسورها و ... اشاره نمود که میکروگریپرها درجابجایی و موقعیت دهی قطعات با مقیاس کوچک کاربرد بسیاری دارند میکروگریپر برای گیره بندی نیاز به تحریک دارد عملگرهای الکتروترمال با توجه به نحوه عملکرد و سادگیدراستفاده دارای کاربرد زیادی نسبت به عملگرهای الکترواستاتیک پیزوالکتریک آلیاژ حافظه دار و ... دارند عملگرهای برقی ـ حرارتی که با ساتفاده از میکروماشین کاری سطحی ساخته می شوند از خاصیت انبساط طولی برای حرکت سازه استفاده می کنند انبساط طولی ناشی از پدیده گرمایش ژول است که به دلیل عبورجریان از بازوهای عملگر ایجاد می شود.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :