بررسی فرآیند طراحی، بهینه سازی و ساخت شتاب سنج MEMS

طراحی شتاب سنج، با در نظر گرفتن رابطه بین پارامترهای هندسی شتاب سنج و پارامترهایی که مبین کارایی آن هستند میسر خواهد شد. در ادامه روابطی که این ارتباط را برقرار می کنند ارائه می شود نوع روش ساخت شتاب سنج به صورت روش حجمی انجام می گیرد، بر اساس محدودیت ها و قابلیت ها این روش ساخت شتاب سنج هایی طراحی می شوند. معیارهای طراحی این نوع شتاب سنج به دلیل عدم وجود استاندارد دقیق کمی متفاوت بوده و با ارائه طرح های متنوع آزادی بیشتری برای تیم سازنده ایجاد می شود تا بر حسب شرایط کاری یکی از فرآیندها را برگزینند به منظور امکان دقیق مطالعه شتاب سنج های طراحی شده و بررسی تاثیرات عوامل مختلف ساخت چهار نوع شتاب سنج طراحی شده است. این شتاب سنج ها تنها در دو پارامتر هندسی با یکدیگر تفاوت دارند. این پارامترها شامل طول المان های فنری و تعداد آنها می باشد در فرآیند شبیه سازی عوامل مولد نویز یکی از مهمترین بخش های طراحی هر حسگری می باشد. پارامترهای بسیار مهمی مثل وضوح و نسبت سیگنال به نویز (SNR) از جمله خواص مهم هر شتاب سنجی است که در مرحله تحلیل و طراحی حسگر بررسی می شوند انواع جنبه های مختلف و اثرات خطا مورد بررسی قرار می گیرند و فرآیند بهینه سازی، شبیه سازی، مراحل ساخت و همچنین متغیرهای طراحی و محدودیت های موجود در فرآیند ساخت بررسی شده است.