بررسی ثابت دی الکتریک لایه نازک SiO۲با استفاده از آزمون بیضی سنجی

سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 48

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

JR_PSI-14-2_006

تاریخ نمایه سازی: 8 آبان 1402

چکیده مقاله:

sio۲در این مقاله به بررسی رفتار نوری لایه های نازک (TEOS )تهیه شده به روش سل ژل چرخشی با استفاده از پیش ماده تترااتیل اورتوسیلیکات ، در دماهای مختلف(۶۰۰– ۴۰۰) درجه سانتی گراد پرداخته شده UV-Vis است. از نتایج حاصل از آزمون برای به دست آوردن لبه جذب و گاف انرژی لایه ها و از آزمون بیضی سنجی (الیپسومتری)  برای به دست آورن ضریب شکست نوری و ضرایب دی الکتریک آنها استفاده شد. نتایج نشان داد که لایه های نازک سیلیکا به دست آمده از این روش دارای عدد سطح ویژه و درصد تخلخل بالای بین ۹/۴ و ۲/۱۶، چگالی کم ۲ و ضریب دی الکتریک پایین ۲ است. همچنین با افزایش دما ثابت دی الکتریک و درصد تخلخل لایه ها افزایش یافته است که علت این امر تغییرات زبری سطح و اندازه ذرات می باشد.

نویسندگان

پروانه سنگ پور

پژوهشکده فناوری نانو و مواد پیشرفته، پژوهشگاه مواد و انرژی، کرج

کمیل خسروی

پژوهشکده فناوری نانو و مواد پیشرفته، پژوهشگاه مواد و انرژی، کرج

محمود کاظم زاد

پژوهشکده فناوری نانو و مواد پیشرفته، پژوهشگاه مواد و انرژی، کرج

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • . R.K. Iler, The Chemistry of Silica, Wiley, (۱۹۷۹). ...
  • . L.W. Hrubesh, J. Non-Cryst. Solids ۲۲۵ (۱۹۹۸) ۳۳۵. ...
  • . John Robertson, High dielectric constant gate oxides for metal ...
  • . R.S.List,CJinS.W. Russell, S. Yamanaka, L.Olsen, L.Le, L.M.Ting, R.H. Havemann, ...
  • . Congmian Zhen,Z He Xiangfu Nie Yinyue Wang, Low dielectric ...
  • . CVD of Nonmetals, W. S. Rees Jr., Editor,VCH, Weinheim ...
  • . Sol-gel processing an alternative wayto glasses for optoelectronics Hans ...
  • . Woei Chang Ee, Kuan Yew Cheong. Effects of annealing ...
  • . A.V. Rao, R.R. Kalesh, Sci. Technol. Adv. Mater. ۴(۲۰۰۳) ...
  • . L.W. Hrubesh, L.E.K., V.R. Latorre, , J. Mater. Tes., ...
  • . FTIR analysis of silicon dioxide thin film deposited by ...
  • .Ömer Kesmez, Esin Burunkaya, Nadir Kiraz,H. Erdem Çamurlu, Effect of ...
  • نمایش کامل مراجع