ساخت و آزمایش یک سلول شکست هیدروژن

یک سلول UHV شکست اتمی هیدروژن جهت تولید هیدروژن اتمی به منظور تمیز سازی درجای نمونه های نیمه هادی ساخته شده است. این سلول به منظور تمیز سازی نمونه های گروه سه تا پنج جدول تناوبی عناصر نظیر GaAs تنظیم و مورد آزمایش قرارگرفته است. درکارحاضر فرایند شیمیایی تمیزسازی هیدروژن نمونه های GaAs توسط طیف سنجی جرمی مورد مطالعه قرارگرفت. روش XPS روی نمونه ها در مراحل مختلف تمیزسازی به کارگرفته شد. دفع اکسیدهای ذاتی روی یکی از نمونه های GaAs منجر به سطحی هموار گردیدکه توسط دستگاه RHEED مورد تایید قرار گرفت .