مفاهیم و اجزای کلیدی در دستگاه های کاشت یونی ؛ گسترده ترین راهبردها و کاربردها
سال انتشار: 1402
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 105
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ECME20_042
تاریخ نمایه سازی: 7 اسفند 1402
چکیده مقاله:
در این مقاله به بررسی اصولی دستگاه کاشت یونی پرداخته می شود. کاشت یونی، فرایندی پیچیده و پیشرفته در عرصه فناوری مواد و نیمه رساناها است که از طریق آن یون ها با انرژی بالا به درون یک ماده پاشیده می شوند. این روش به طور گسترده در صنایع الکترونیک، پزشکی و تحقیقات مواد استفاده می شود. مقاله حاضر تلاش دارد تا با بررسی اجزای کلیدی و مکانیزم های عملکردی دستگاه کاشت یونی، درک عمیق تری از این فناوری و کاربردهای آن ارائه دهد.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
هومن تونی
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده برق دانشگاه جامع امام حسین(ع)، گرایش میکرو و نانو الکترونیک
سید محمد علوی
دانشیار دانشکده برق دانشگاه جامع امام حسین(ع)