طراحی، ساخت و مطالعه حسگر بخار بنزن بر پایه لایه های نازک اکسید مس تهیه شده به روش کندوپاش RF

این تحقیق گزارشی از طراحی، ساخت و مطالعه حسگر بخار بنزن بر پایه لایه های نازک اکسید مس می باشد.فازهای مختلف اکسید مس، تنوریت (CuO)، کوپریت (Cu(۲)O) و پاراملاکونیت ((Cu(۴)O(۳) به روش کندوپاش واکنشی RF و با تنظیم توان کندوپاش و گاز واکنشگر رشد داده شدند. نمونه های ساخته شده با فاز CuO وCu(۲)O در دماهای عملیاتی مختلف به بخار بنزن پاسخ نشان دادند؛ در حالی که نمونه با فاز (Cu(۴)O(۳ به گازهدف حساس نبود. نتایج نشان داد که دستگاه مبتنی بر لا یه نازک CuO به دلیل حساسیت، گزینش پذیری وپایداری قابل توجهی که دارد میتواند یک نمونه امیدوارکننده برای تشخیص بخار بنزن باشد.