مطالعه اثر دما روی خواص اپتوالکتریکی و ساختاری لایه های نازک اکسید قلع به روش اقتصادی نهشت بخار شیمیایی

سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 642

فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

THINFILM01_041

تاریخ نمایه سازی: 3 آذر 1392

چکیده مقاله:

ما از روش جدید و بهینه شده نهشت بخار شیمیایی برای ساخت لایه های اکسید قلع استفاده نمودیم. این روش بسیار ساده و کم هزینه می باشد و فیلم هایی با خواص خوب الکتریکی جهت کاربردهای سنسوری تولید می کند. اثر دمای زیرلایه روی مقاونت سطحی،مقاومت،موبیلیتی و غلظت حامل و شفافیت فیلمها مطالعه شد. بهترین مقاومت سطحی در دمای زیرلایه 500C حدود 27/Ω بدست آمد. پراش پرتو X نشان داد که ساختار فیلمهای تولید شده پلی کریستال با اندازه دانه بین 300-100 A است. جهت ترجیحی برای فیلمهای لایه نشانی شده در دمای 500C، (211) است. تصاویر FESEM بدست آمده نشان داد که دمای زیرلایه فاکتور مهمی در افزایش اندازه دانه و بهبود خواص الکتریکی است.

کلیدواژه ها:

فیلمهای نازک اکسید قلع ، دمای زیرلایه ، نهشت بخار شیمیایی در فشا رهوا

نویسندگان

مسعوده ملکی

آزمایشگاه CVD ، گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه گیلان

سید محمد روضاتی

آزمایشگاه CVD ، گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه گیلان

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • مشخصه های آن ها اولین کنفرانس ملی نو آوری‌ها در ...
  • K. L. Chopra, S. Major, D. K. Pandya, Thin Solid ...
  • N. Takahashi, K. Kaiya, K. Omichi, t. Nakamura, S. Okamoto, ...
  • K. Haga, P. S. Wijesena, H. Watanabe, Applied Surface Science ...
  • P. P. Sahay, R. K. Nath, Cryst. Res. Technol. 42 ...
  • S. Chako, N. S. Philip, V. K. Vaidyan, phys. stat. ...
  • E. Horvath, J. Kristof, H. Nasser, R.L. Frost, A. De ...
  • G. N. Advani, A. G. Jordan, C. H. P. Lupis ...
  • B. Vlahovic and M Persin, J. Phys. D: Appl. Phys, ...
  • Antonius Maria Bernardus van, Mol PhD. Thesis(2003). ...
  • K. H. Kim and J S. Chun, Thin Solid Films, ...
  • S. Chacko, N. S. Philip, V. K. Vaidyan, phys. stat. ...
  • B.D.Cullity, Elements of X-Ray Diffraction, Addison- Wesley publishing company INC ...
  • نمایش کامل مراجع