بررسی زبریِ سطوح لایه های نازک مس انباشت شده روی شیشه نسبت به آهنگ لایه گذاری
محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران 1385
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,449
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC85_123
تاریخ نمایه سازی: 13 بهمن 1385
چکیده مقاله:
از آنجا که صاف وصیقل و زبر بودن سطوح لا یه های نازک بستگی به روش وشرایط انباشت لایه دارد،در این کار تجربی لایه های نازک مس بـه روش کنـد وپـاش مگنترون روی شیشه های بی ریخت با آهنگ های متنوع لایه نشانی انباشت گردیده اند . با بهـره گیـری از میکروسـکوپ نیـروی اتمـی (AFM) ،زبریِ سطوح ولایه های مذکور برای ضخامت های متفاوت لایه ی نازک مورد مطالعه قرار گرفته و تأثیر عوامل انباشـت ( شـدت جریان،ولتـاژ و فشار ) روی آهنگ لایه گذاری و اثر آن روی زبری بررسی شده است و روابط آروینی نیز بین زبری و نرخ انباشت حاص ل گردیده کـه بـا نتـایج تجربـی همخـوانیِ خوبی نشان می دهد
نویسندگان
اکبر زنده نام
دانشگاه اراک ،گروه فیزیک،آزمایشگاه لایه نشانی
غلامرضا جعفری
دانشگاه شهید بهشتی،دانشکده ی فیزیک
منیژه خانقایی
دانشگاه اراک ،گروه فیزیک،آزمایشگاه لایه نشانی