توانایی روش RBS-Channeling جهت مطالعه اثر یون های ژرمانیوم کاشت شده در شبکه بلوری سیلیسیم
محل انتشار: کنفرانس فیزیک ایران ۱۳۸۴
سال انتشار: 1384
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,875
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IPC84_069
تاریخ نمایه سازی: 5 اسفند 1385
چکیده مقاله:
مطالعه ژرمانیوم کاشت شده با انرژی 100 keV و دز 1× 16 10 atoms/cm 2 در جهت (100) شبکه بلوری سیلیسیم و اثر کاشت ژرمانیوم بر شبکه مزبور در این مقاله بررسی شده است . آنالیز نمونه ها با استفاده از تکنیک RBS-Channeling نشان می دهد که اتم های ژرمانیوم کاشت شده درمکان شبکه ای اتم های سیلیسیم قرار نگرفته است . بررسی مکان ناخالصی ها در دو جهت کریستالی (100) و (110) انجام شده است
نویسندگان
داریوش فتحی
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
محمد لامعی رشتی
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
امیدرضا کاکوئی
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
داود آقاعلی گل
بخش فیزیک هسته ای، مرکز تحقیقات هسته ای، سازمان انرژی اتمی ایران، تهر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :