خواص نانو ساختاری لایه های نازک آلومینیوم انباشتی بر روی کوارتز : بررسی اثر پلاسمای نیتروژن و بازپخت حرارتی

در این تحقیق در محرحله اول ابتدا لایه های نازک آلومینیوم با ضخامت 70 نانو متر با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی dc تحت شرایط انباشت یکسان بر روی زیر لایه های کوارتراتباشت شده و سپس با استفاده از دستگاه کندوپاس مغناطیسی استوانه ای لایه های آلومینیوم در زمان های متفاوت تحت تاثیر پلاسمای نیتروژن قرار گرتفه و سپس با استفاده از کوره حرارتی لایه های بدست آمده در دمای 600 درجه سانیت گراد به مدت 5 ساعت باپخت حرارتی شده اند برای بررسی خواص ساختاری و مورفوژیکی لایه های بدست آمده از آنالیزهای AFM,XRD استفاده شده است نتایج حاصل از XRD نشان می دهد که قبل و بعد از بازپخت فقط فاز آلومینیوم دیه میشود با این تفاوت که قبل از بازپخت راستای کریستالی (111) بوده و پس از بازپخت راستای کریتالی به (220) تغییر می کند نتایج حاصل از AFM نشان می دهد که مقدار زبری متوسط و RMS سطح لایه ها قبل از عملیات بازپخت حرارتی حالت با افزایش زمان پلاسما دهی کاهش یافته و پس از بازپخت افزایش یافته است.