محاسبه ضریب کیفیت برای حالت اتلاف تکیه گاه در تشدیدگر میکرومکانیکی بیضوی تحت مد های ارتعاشی پیچشی و تکان دهنده خارج صفحه

تشدیدگرهای میکرومکانیکی قطعات کوچک میکرومکانیکی هستند که در فرکانس های بالا ارتعاش می کنند. تشدیدگرهای میکرومکانیکی در انواع حس گرها، فیلترها و ژیروسکوپ ها مورد استفاده قرار می گیرند. چندین مکانیزم اتلاف انرژی در تشدیدگر ها وجود دارد که شامل اتلاف هوا، اتلاف ترموالاستیک، اتلاف بر اثر اصطکاک داخلی و اتلاف تکیه گاه هستند. این مکانیزم های اتلاف انرژی سبب افت عملکرد تشدیدگر ها می شوند. ضریب کیفیت، کیفیت میرایی یک سیستم را نشان می دهد، به طوریکه سیستم با ضریب کیفیت بالاتر دارای سطح اتلاف انرژی پایین است. در مقاله حاضر تشدیدگر میکرومکانیکی بیضوی با چهار تیر نگهدارنده تحت مد ارتعاشی دوم، که ترکیب مد پیچشی و مد تکان دهنده ی خارج صفحه است، بررسی شده و رابطه ای برای فرکانس مد دوم ارتعاش تشدیدگر میکرومکانیکی بیضوی بدست آمده است. فرکانس به دست آمده از روابط تحلیلی با فرکانس حاصل از نرم افزار ANSYS مطابقت خوبی دارد. همچنین روابط ضریب کیفیت در حالت اتلاف تکیه گاه برای مد دوم ارتعاش تشدیدگر میکرومکانیکی بیضوی ارائه شده است. نتایج مقاله حاضر نشان دهنده ی این است که ضریب کیفیت با افزایش ممان اینرسی دوم سطح مربوط به تیرهای نگهدارنده به سرعت کاهش می یابد و با افزایش ضخامت زیرلایه افزایش می یابد.