شبیه سازی حسگر فشار خازنی براساس تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی

در این مقاله یک حسگر فشار با حساسیت بسیار بالا ارائه شده که در آن تکنیکی برای جبران سازی حرارتی پیشنهاد گردیده است. تکنیک پیشنهادی از یک راه حل هندسی برای جبران سازی خودکار اثر کاهش مدول یانگ براثر افزایش بهره خواهد برد که طی آن یک فنر نگهدارنده جرم، توسط یک فنر با طول و عرض بزرگتر به تکیه گاه متصل می شود. با توجه به اتصال فنر اصلی به فنر بزرگ، در اثر کششی که از اختلاف افزایش طول فنر بزرگ و فنر اصلی، در فنر اصلی ایجاد می شود سفتی این فنر افزایش خواهد یافت. این اثر می تواند کاهش ثابت فنر اصلی را در اثر وابستگی حرارتی مدول یانگ جبران کند. خطای فشار ناشی از تغییرات حرارت در ساختار جبران شده کمتر از 22Pa بوده که در مقایسه با کارهای پیشین بهبود قابل توجهی را از خود نشان می دهد. این حسگر مساحتی در حدود 0.03288mm2 را اشغال کرده و حساسیت آن 290ppm می باشد.