طراحی و ساخت سامانه لیتوگرافی لیزری با استفاده از هد دستگاه Blu-Ray
محل انتشار: فصلنامه صنایع الکترونیک، دوره: 5، شماره: 1
سال انتشار: 1393
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 967
فایل این مقاله در 8 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_SAIRAN-5-1_006
تاریخ نمایه سازی: 17 فروردین 1395
چکیده مقاله:
در این مقاله، نمونه آزمایشگاهی یک سامانه لیتوگرافی لیزری با استفاده از هد اپتیکی دستگاه دیسک خوان Blu-Ray(BD) ساخته و آزمایش شده است. هد اپتیکی این دستگاه دارای لیزر آبی، لیزر قرمز، عدسی شیئی و قطعات اپتیک مناسب برای خواندن و نوشتن اطلاعات روی دیسک نوری است. از لیزر آبی آن با طول موج 405 نانومتر به صورت یکپارچه برای کانونی سازی لیزر روی سطح زیرلایه و همچنین لیتوگرافی و ایجاد الگو روی زیرلایه پوشش داده شده با فوتورزیست شیپلی استفاده شده است. برای انجام فرآیند لیتوگرافی، زیرلایه روی میز دو درجه آزادی Y- X قرار می گیرد و متناسب با الگوی طرح فرامین ارسالی از کامپیوتر، سطح آن به وسیله لیزر روشن/خاموش جاروب می شود. برای رسیدن به کمینه لکه لیزر و ثابت نگه داشتن زیرلایه در محدوده فاصله کانونی محور Z سامانه خودکانون با استفاده از هد اپتیکی و طراحی مدارات واسط ساخته شده است تا پهنای خطوط لیتوگرافی در کل سطح زیرلایه تغییر نکند.دقت پهنای خطوط لیتوگرافی انجام شده 3μm با غیریکنواختی کمتر از 2 درصد است و با توجه به طول موج لیزر آبی و عدسی شیئی با روزنه عددی 0/85 موجد در هد اپتیکی، دقت سامانه لیتوگرافی مذکور تا دقت 500nm قابل ارتقا است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
احمد عفیفی
استادیار مجتمع برق، دانشگاه صنعتی مالک اشتر
امین آقائی روزبهانی
مربی دانشکده برق موسسه آموزش عالی ایوان کی
رضا اسدی
دانش آموخته دکترای برق، دانشگاه صنعتی مالک اشتر