تنش لایه های نازک فلزی با اندازه گیری شعاع پرتوهای خمیده حاصل از خمش زیر لایه شیشه

تنش لایه های فلزی Ag, Au, Zn, Cu, Al و Fe را که با روش PVD و کندوپاش (sputtering) در تعداد بیشماری تهیه شده اند، اندازه گیری نموده ایم. برای این منظور از زیر لایه های مضاعف شیشه و میکا به ابعاد 1×76×25 و 0.41×50×24 میلیمتر ( 140 میکرون) متناسب با دستگاههای تبخیر استفاده شد. لایه ها در شرایط تقریبا یکسان با تغییر پارامترهای تبخیر و با ضخامت های مختلف رسوب د اده شدند . عمل تبخیر در خلاء و در فشارهای حدود (در متن اصلی موجود می باشد) تور در روش PVD و در فشار حدود (در متن اصلی موجود می باشد) تور در روش کندوپاش انجام گرفت و با اعمال شدت جریانی مناسب با فیلامنت به صورت فنر یا سبد برای فلزات با نقطه ذوب بالا و به صورت قایق از جنس مولیبدن یا تنگستن برای فلزات با نقطه ذوب پایین لایه نشانی انجام گردید. ماده لایه ها روی زیر لایه ها به قطر 140 میکرون که از یک طرف روی زیر لایه دیگری به قطر یک میلیمتر ثابت شده، رسوب داده شده اند. با اندازه گیری شعاع خمش زیر لایه در اثر تنش ماده لایه و ضخامت لایه به روش اپتیکی تنش لایهها تعیین شدند. نتایج نشان داده اند که هرقدر ضخامت لایه بیشتر باشد شعاع خمش زیادتر و در نتیجه تنش لایه تا حدی افزایش می یابد . در ضخامت های خیلی کم دقت اندازه گیری شعاع خمش و در نتیجه تنش کمتر است . به علاوه دقت تعیین تنش لایه ها با نقطه ذوب پایین مانند Zn و Cd در ضخامت های زیاد به علت کاهش چسبندگی در محدوده ضخامت معین امکان پذیر است.