تعیین ثابتهای اپتیکی فیلم های نازک ایریدیم لایه گذاری شده در روی زیر لایه سیلیکا (SiO2) و بررسی اثر پارامترهای روش لایه گذاری در کیفیت ناهمواری لایه
محل انتشار: هفتمین سمینار ملی مهندسی سطح و عملیات حرارتی
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 947
فایل این مقاله در 11 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ISSE07_091
تاریخ نمایه سازی: 29 خرداد 1387
چکیده مقاله:
با استفاده از دستگاه " پرتابه مگنترون جریان یکسو " در درون پلاسمای آرگون، لایه های بسیار صاف ایریدیم در روی زیر لایه ابر صیقل شده سیلیکا لایه گذاری گردید . اثر پارامترهای روش لایه
گذاری در کیفیت ناهمواری لایه نیز مورد بررسی قرار گرفت . بعلاوه ثابت های اپتیکی لایه با استفاده از بیناب نمائی بیضی سنجی با زاویه متغیر در بازه طول موج فرابنفش تا میان فروسرخ تعیین گردید . همچنین اندازه گیری میزان ناصافی سطح لایه بوسیله میکروسکپی نیروی اتمی انجام گرفت.
نویسندگان
محمد رضا بهفروز
گروه فیزیک – دانشگاه آزاد اسلامی واحد مهاباد
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :