تعیین ثابتهای اپتیکی فیلم های نازک ایریدیم لایه گذاری شده در روی زیر لایه سیلیکا (SiO2) و بررسی اثر پارامترهای روش لایه گذاری در کیفیت ناهمواری لایه

سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 947

فایل این مقاله در 11 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

ISSE07_091

تاریخ نمایه سازی: 29 خرداد 1387

چکیده مقاله:

با استفاده از دستگاه " پرتابه مگنترون جریان یکسو " در درون پلاسمای آرگون، لایه های بسیار صاف ایریدیم در روی زیر لایه ابر صیقل شده سیلیکا لایه گذاری گردید . اثر پارامترهای روش لایه گذاری در کیفیت ناهمواری لایه نیز مورد بررسی قرار گرفت . بعلاوه ثابت های اپتیکی لایه با استفاده از بیناب نمائی بیضی سنجی با زاویه متغیر در بازه طول موج فرابنفش تا میان فروسرخ تعیین گردید . همچنین اندازه گیری میزان ناصافی سطح لایه بوسیله میکروسکپی نیروی اتمی انجام گرفت.

نویسندگان

محمد رضا بهفروز

گروه فیزیک – دانشگاه آزاد اسلامی واحد مهاباد

مراجع و منابع این مقاله:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :
  • K. Mumtaz. J. Echigoya. T. Hirai, and Y. Shindo, Mater. ...
  • Y.-M. Sun. J. P. Endle. K. Smith, S. Whaley. R. ...
  • B. A. Banks et al., NASA TM 1999-209180 (1999). ...
  • K. K. de Groh. B. A. Banks. G. C. dark. ...
  • R. Parsons, in Thin Film Process II. edited by J. ...
  • M. R. Behfrooz and J.A. Woollam, Optical Properties of Thin ...
  • D. W. Lynch and W. R. Hunter, in Handbook of ...
  • R. M. A. Azzam and N. M. Bashara. Ellipsometry and ...
  • J. George, Preparation of Thin Films (Marcel Dekker. New York. ...
  • نمایش کامل مراجع