بررسی خواص اپتوالکترونیکی فیلم نازک اکسید قلع به روش افشاندن و کاربردآن بعنوان حسگر گاز
محل انتشار: دوازدهیمن کنفرانس مهندسی برق ایران
سال انتشار: 1383
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,490
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICEE12_190
تاریخ نمایه سازی: 13 مهر 1387
چکیده مقاله:
در این مقاله اثرات تغییرات فشار گاز حامل ، فاصله دهانه خروجی گاز تازیرلایه و دما به روش افشاندن (Spraying) برروی فرانمایی (شفافیت) وهدایت الکتریکی لایه های نازک SnO2 مورد بررسی قرار گرفته است . از این لایه ها به عنوان حسگرهای گاز استفاده شده است . علاوه بر آن اثرات تغییرات دما برروی پارامترهای مذکور به روش لایه نشانی بخار شیمیایی (CVD) نیز گزارش شده است. در هردو روش برای ساخت لایه های نازک اکسید قلع از محلول SnCl4 استفاده شده است.در روش افشاندن ، فشار گاز حامل ، فاصله لایه نشانی تا زیر لایه و دما جهت پیدا کردن یک مقدار بهینه در هر کدام از متغیرهای فوق مورد مطالعه قرار گرفت وحالت بهینه به ترتیب ٥ لیتر بر دقیقه، ٢ سانتیمتر و ٢٨٠ درجه سانتیگرادبدست آمد . در ضمن دمای بهینه در روش CVD و400 درجه سانتیگراد تعیین شد. پس از ساخت نمونه ها منحنی تغییرات مقاومت سطحی ، شفافیت (فرانمایی)، ضخامت برحسب متغیرهای ذکر شده و منحنی حساسیت حسگرهای گاز انجام پذیرفت. نتایج بدست آمده موردمطالعه قرارگرفت و با یکدیگر مقایسه شد.
نویسندگان
علیرضا صالحی
دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی – دانشکده مهندسی برق -آزمایشگاه
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :