Hydrogen Detection using Capacitive Method
محل انتشار: همایش ملی فناوری های نوین در نانو کامپوزیت ها
سال انتشار: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: انگلیسی
مشاهده: 405
فایل این مقاله در 9 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NANO01_006
تاریخ نمایه سازی: 10 تیر 1396
چکیده مقاله:
In this study a MOS capacitor hydrogen sensor with Pd/SiO2/Si structure has been fabricated. The palladium nanoparticles by chemical method are synthesized and then characterized by transmission electron microscope (TEM). The sensing mechanism of the hydrogen detection by MOS capacitor sensor has been explained and theoretical and experimental results have been compared. The presented sensor illustrates a designing of hydrogen detectors with very fast response and recovery speed.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
L. Fekri Aval
Plasma physics Research Center, Science and Research Branch, Islamic Azad University, Tehran, Iran
G Behzadi Pour
Department of Physics, East Tehran Branch, Islamic Azad University, Tehran, Iran