ساخت و مشخصه یابی دی سولفید مولیبدن با استفاده از سولفوریزاسیون فیلم نازکی از مولیبدن
محل انتشار: اولین کنفرانس ملی میکرو نانو فناوری
سال انتشار: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,142
فایل این مقاله در 7 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
MNTECH01_072
تاریخ نمایه سازی: 23 آذر 1397
چکیده مقاله:
در این پژوهش ابتدا با استفاده از سیستم لایه نشانی کندوپاش جریان مستقیم لایه ای از مولیبدن بر روی زیر لایه ی si/sio2 لایه نشانی شد و سپس با استفاده از رسوب بخار شیمیایی گرمایی و در حضور پودر گوگرد عمل سولفوریزاسیون لایه ی ایجاد شده در چهار زمان مختلف انجام شد که در طی این فرایند لایه ی دی سولفید مولیبدن تولید و با استفاده از الگوی پراش اشعه ی ایکس و طیف سنجی فرابنفش مریی مشخصه یابی گردید
کلیدواژه ها:
نویسندگان
سمیرا صادقی
کارشناسی ارشد گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه بین المللی امام خمینی (ره) قزوین، ایران
سیده زهرا مرتضوی
استادیار گروه فیزیک، دانشگاه بین المللی امام خمینی (ره) قزوین، ایران
علی ریحانی
دانشیار گروه فیزیک، دانشگاه بین المللی امام خمینی(ره) قزوین، ایران
پرویز پروین
استاد گروه فیزیک، دانشگاه صنعتی امیر کبیر، تهران، ایران