بررسی تعدیلات نانو ساختاری و مشخصه های سطح ورقه تیتانیوم کاشت شده با یونهای ازت

تعدیلات نانوساختاری نمونه های ورقه نازک تیتانیوم (50µm) کاشت شده با یونهای ازت با استفاده از آنالیزهای AFM ، XRD و SIMS مطالعه شده است. یونهای ازت با E=25 keV و شار (فرمول در متن اصلی موجود می باشد) در مدت 1600s و در دماهای متفاوت در نمونه های ورقه Ti کاشت شد. الگوهای XRD روند پیشروی نیتریدهای تیتانیوم را در موقعیتهای متفاوت در نمونه نشان می دهد. تصاویر AFM تغییرات واضحی را در ساختار دانه های ریز سطح ورقه تیتانیوم با افزایش دما نشان می دهد. چگالی و عمق نفوذ یونهای ازت کاشت شده در ورقه تیتانیوم با استفاده از آنالیز SIMS بدست آمد که مقدار بیشینه ای را در دمای مشخص در نمودار چگالی و همچنین نمودار عمق نفوذ نشان دهد که با نتایج XRD سازگار است. این پدیده را می توان بر اساس گاز باقیمانده، دمای زیر لایه، تجزیه آب موجود در محفظه خلأ و خاصیت گیراندازی تیتانیوم شده توجیه کرد.