تحلیل رفتار استاتیکی میکرو تیر میکرو الکترو مکانیکی با معرفی حسگر سرعت زاویه ای برای کاربردهای قطع اضطراری

در این تحقیق طراحی و معرفی یک میکرو حسگر سرعت زاویه ای و بررسی رفتار استاتیکی آن مورد بررسی قرار می گیرد که در آن میکرو تیر دو سر گیر دار، در معرض تحریک نیروی الکترواستاتیک و گریز از مرکز میباشد. معادلات حرکت حاکم بر این مسئله بر اساس فرض تیر اویلر برنولی به دست می آید. برای حل استاتیکی این معادلات با استفاده از روش خطی سازی گام به گام حل می شود، سپس با استفاده از روش کاهش مرتبه گلرکین این معادلات خطی شده حل می گردند. به علاوه، ولتاژ ناپایدار استاتیکی برای سرعتهای زاویه ای مختلف و سرعت زاویه ای ناپایدار به ازای ولتاژهای بایاس مختلف محاسبه می شود. با تعریف تغییر ظرفیت خازن به عنوان پارامتر حساسیت حسگر اثر تغییرات هندسی بر عملکرد ان بررسی می شود.