لایه برداری نانو متری اثر شیمیای با طراحی پلاسمای پالسی

سال انتشار: 1398
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 772

فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این مقاله:

شناسه ملی سند علمی:

FMCBC01_002

تاریخ نمایه سازی: 19 اسفند 1398

چکیده مقاله:

اثر پلاسما بر سطح یکی از مهمترین اثرھای ی مورد توجه در علوم و تکنولوژی میباشد بدلیل سرعت بالا و اثر بسیار موثر پلاسما بر سطوح امروزه توجه به این پدیده افزایش یافته است در این تحقیق لایه برداری نانومتری از سطح اکسید سلیکون که کاربردھای زیادی در صنعت دارد مورد توجه قرار گرفته است و با طراحی یک سیستم پلاسمایی فعال با ھوا لایه ھای دائمی رنگها و مواد شیمیایی از سطوح سلیکونی برداشته شده است نتایج این تحقیق نشان می دھد فاصله پلاسما تا سطح و زمان اعمال تاثیر بسیار شدیدی در لایه برداری از خود نشان می دھند.

نویسندگان

پرستو آهنی

دانشگاه ارومیه دانشکده علوم گروه نانو فیزیک

محمدتقی احمدی

دانشگاه ارومیه دانشکده علوم گروه نانو فیزیک