ماشینکاری بهینه شیشه های بروسیلیکات با استفاده از روش براده برداری شیمیایی
سال انتشار: 1399
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 411
فایل این مقاله در 5 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
SENACONF10_095
تاریخ نمایه سازی: 25 فروردین 1400
چکیده مقاله:
با توجه به اهمیت بالا و کاربردهای گسترده ی شیشه ها در زمینه های مختلف که ناشی از ویژگیهای خاص فیزیکی آنها است، ماشینکاری قطعات شیشهای جایگاه بسیار مهمی دارد. شیشه ماده ای ترد است و با ماشینکاری ویفرهای شیشه ای در صنایع تکنولوژیکی میتوان به قطعات کاربردی نازک و بدون ترک دست پیدا کرد. در این تحقیق با بکارگیری روش اچینگ شیمیایی از سطح شیشه بروسیلیکات در 8 مرحله لایه برداری شده است. تاثیر تغییرات دما و دفعات استفاده از محلول اچنت بر ضریب اچینگ مورد بحث قرار گرفته و راهکارهایی برای داشتن قطعات با کیفیت و با تقارن بالا پیشنهاد شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
پرستو آهنی
دانشجوی کارشناسی ارشد گروه نانوفناوری، دانشکده ی علوم پایه، دانشگاه ارومیه
امیرموسی اباذری
استادیار گروه مهندسی مکانیک، دانشکده ی فنی، دانشگاه ارومیه
محمدتقی احمدی
دانشیار گروه فیزیک، دانشکده ی علوم پایه، دانشگاه ارومیه