بررسی نقش انرژی پرتو یون بر ماهیت لایه نازک کربن آمورف (Sp۲/Sp۳) توسط فرایند لایه نشانی پرتو یونی
محل انتشار: فصلنامه علم و مهندسی سرامیک، دوره: 11، شماره: 4
سال انتشار: 1401
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 103
فایل این مقاله در 14 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJCSE-11-4_005
تاریخ نمایه سازی: 12 تیر 1402
چکیده مقاله:
انرژی یون کربن یک فاکتور کلیدی در تعیین مقدار پیوندهای sp۳ در ساختار لایه کربن آمورف و ماهیت شبه الماسه است. در این پژوهش، تحولات ساختاری پوشش کربن شبه الماس بر اساس مکانیزم تشکیل پیوندsp۳ متاثر از انرژی پرتو یون توسط فرایند لایهنشانی پرتو یونی مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور، جهت لایهنشانی پوششها، پارامتر انرژی پرتو یون در مقادیر ۲۰۰، ۳۰۰ و eV ۴۰۰ در نظر گرفته شد. سپس جهت ارزیابی ساختار و ترکیب شیمیایی پوششهای ایجاد شده، از آنالیزهای طیفسنجی رامان و فوتوالکترون پرتو ایکس (XPS) استفاده شد. همچنین جهت تاثیر انرژی پرتو یون بر زبری سطح و ضخامت پوششهای اعمالی، از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) استفاده گردید. سختی و مدول الاستیک توسط آزمون نانوسختیسنجی اندازهگیری شد. مطابق نتایج آنالیز رامان، کمترین مقدار نسبت ID/IG در انرژی پرتو یون eV۳۰۰ بدست آمد که برابر با ۶۶/۰ بود. نتایج حاصل از آنالیز XPS گویای کمترین مقدار پیوندهای sp۲ در لایه کربن شبه الماس در انرژی پرتو یونیeV۳۰۰ بود. همچنین نتایج آنالیز AFM، نشان داد که در انرژی پرتو یون eV۳۰۰، زبری سطح پوشش کربن شبه الماس، کمترین مقدار را دارا است. با توجه به بیشترین مقدار پیوندهای sp۳ در انرژی پرتو یونی
eV ۳۰۰، پوشش کربن شبه الماس دارای بیشترین سختی و برابر با GPa ۶/۱۰بود.
کلیدواژه ها:
Diamond Like Carbon ، Ion Beam Energy ، Ion Beam Deposition ، Sp۳ Bond ، کربن شبه الماس ، انرژی پرتو یون ، پیوند sp۳ ، رسوب گذاری پرتو یونی
نویسندگان
سهیلا روح الهی
دانشگاه مالک اشتر
سید حجت اله حسینی
دانشگاه مالک اشتر
کریم زنگنه مدار
دانشگاه مالک اشتر
محمدرضا ابراهیمی فردوئی
دانشگاه مالک اشتر
سعید مرساق دزفولی
دانشگاه مالک اشتر
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :