سنتز نانوساختارGaN بروی زیرلایه Si به روش نیمه صنعتیPACVD
محل انتشار: پژوهشنامه علوم دفاعی، دوره: 1، شماره: 2
سال انتشار: 1400
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 30
فایل این مقاله در 12 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_SPF-1-2_004
تاریخ نمایه سازی: 9 اسفند 1402
چکیده مقاله:
نیترید گالیم (GaN)از مواد اپتوالترونیکی است که کاربردهای فراوانی در عرصه الکترونیک دارد. در این تحقیق روش ساخت نانوساختار GaN روی زیرلایه Si به روش رسوب بخار شیمیایی به کمک پلاسما (PACVD) بررسی شده و خواص این نانوساختار مورد ارزیابی قرار گرفته است. پیش ماده مورد استفاده ترکیبGaCl۳ و گاز H۲، N۲ و Ar بود. از پلاسما برای بهینه سازی لایه نشانی در موارد مختلف استفاده شد. سازوکار رشد خصوصیات مورفولوژیکی و ساختار نانوساختار GaN رشد یافته روی زیرلایه Si با استفاده از دستگاه تصویربردای FE-SEM و GIXRD بررسی و ساختاری بلوری از ترکیب GaN در دمای ۵۲۰ مشاهده شده است.
کلیدواژه ها:
نویسندگان
مهدی عربعلی
دانشجوی مقطع کارشناسی، دانشگاه افسری امام علی (ع)، تهران، ایران.
مهدی غلام پور
استادیار و عضو هیات علمی گروه فیزیک، دانشکده علوم پایه، دانشگاه افسری امام علی (ع)، تهران، ایران.