بازتاب سنجی اشعه ایکس ؛ تکنیکی کارآمد ئر مشخصه یابی ساختاری لایه های نازک و چندلایه ای ها
سال انتشار: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 971
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
THINFILM01_040
تاریخ نمایه سازی: 3 آذر 1392
چکیده مقاله:
در این مقاله تکنیک بازتاب اشعه ایکس جهت مشخصه یابی لایه های نازک معرفی می گردد. چندین نمونه چند لایه ای با استفاده از تکنیک کندوپاش مغناطیسی رشد داده شده اند. ساختار لایه ای نمونه ها با لستفاده از تکنیک های بازتاب و میکرسکوپ الکترونی مورد مطالعه قرار گرفته اند. نشان داده شده است که داده های بازتاب سنجی از ساختار نمونه ها می تواند اطلاعاتی را چون ضخامت لایه ها، تغییرات ضخامت و ناهمواری بین سطوح مشترک لایه ها را فراهم سازد که با فضای حقیقی تطابق دارد.
نویسندگان
حسین رعنائی
گروه فیزیک دانشگاه خلیج فارس، بوشهر