طراحی و شبیه سازی میکروژیروسکوپ الکترومکانیکی با تحریک و حسگری خازنی

؛ MEMS فناوری ساخت ادوات بسیار کوچک الکترومکانیکی است که در مقیاس نانو با سیستم های نانو الکترو مکانیکی (NEMS) تلفیق می شود. صنایع میکرو الکترومکانیکی به وفور مورد استفاده قرار می گیرند و به دلیل حجم و وزن کم، هزینه ساخت پایین استفاده از آنها روز به روز در حال افزایش است. دراین مطالعه، هدف طراحی و شبیه سازی میکرو ژایروسکوپ با تحریک و حسگری خازنی در ناحیه رزونانس اولیه جهت استفاده در صنعت خودرو و مطالعه تاثیر نوع رانش و حسگری، اعم از خطی و غیر خطی در پارامترهای حاکم بر مسئله اعم از ضریب کیفیت، پهنای باند، حساسیت و ... می باشد. مدل مورد نظر می تواند در صنایع هوا- فضا و همچنین سیستم های ناوبری کشتی ها و خودروها مورد استفاده قرار گیرد. همچنین در تجهیزات الکترونیکی به وفور از ژیروسکوپ های میکروالکترو مکانیکی استفاده می شود. با توجه به نتایج دو نوع میرایی در ژیروسکوپ های Mems وجود دارد و میرایی سازه ای در مقایسه با میرایی لزجی قابل صرف نظر است.