بررسی رفتار دینامیکی میکرو رزوناتورهای الکترواستاتیکی در حضور میدان حرارتی بااستفاده از تیوری تنش کوپل

در تحقیق حاضر رفتار پایداری مکانیکی و دینامیکی میکرو رزوناتورها تحت تاثیر میدان الکترواستاتیکی مورد مطالعه قرار می گیرد. در مدلسازی از تیوری تیر اویلر- برنولی استفاده شده و اثر میدان الکترواستاتیک که باعث غیرخطینگی معادلات می شود در معادلات حاکم اعمال می شود. برای اعمال اثرات اندازه های کوچک از تیوری تنش کوپل استفاده شده و با در نظر گرفتن اثرات تنش های حرارتی، معادلات حرکت با استفاده از قانون دوم نیوتن استخراج شده است. پس از گسسته سازی معادله حرکت به دست آمده با اعمال روش گالرکین، با اریه روش حل عددی به مطالعه رفتار پایداری مکانیکی و تاثیر پارامترهای مختلفی همانند نیروی محوری، ولتاژ اعمالی بر رفتار دینامیکی میکروتیر پرداخته می شود. بر اساس نتایج مشاهده می شود که افزایش دمای سیستم به 100 ͦc باعث کاهش 53.84 درصدی ولتاژ پولین متناظر شده و با کاهش دما تا -30 ͦc ولتاژ پولین سیستم در حدود 59 درصد افزایش می یابد. با گسترش کاربردهای میکرو رزوناتورها در صنایع پیشرفته امروزی، نتایج حاصل تحقیق می تواند در طراحی، مدل سازی، ساخت و آنالیز دقیق رفتار این سیستم ها بسیار موثر باشد