باز توزیع ناخالصی آرسنیک (As) در رشد گرمایی و سرعت رشد اکسید سیلیسیم
محل انتشار: مجله پژوهش فیزیک ایران، دوره: 5، شماره: 4
سال انتشار: 1384
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: فارسی
مشاهده: 396
فایل این مقاله در 6 صفحه با فرمت PDF قابل دریافت می باشد
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_PSI-5-4_008
تاریخ نمایه سازی: 30 دی 1397
چکیده مقاله:
در این مقاله نحوه باز توزیع ناخالصی آرسنیک و تاثیر آن را بر روی سرعت رشد اکسید سیلیسیم که به روش اکسیداسیون گرمایی ( در دمای 900°C و با استفاده از بخار آب ) رشد داده شده است بررسی می کنیم. ناخالصی آرسنیک به وسیله کشت یونی با انرژی 100keV در نمونه سیلیسیم با جهت بلوری (100) کاشته شده و اثر ناخالصی آرسنیک با غلظتهای (فرمول درمتن مقاله ) بر سرعت رشد اکسید سیلیسیم به وسیله اندازه گیری ضخامت اکسید به روش پراکندگی برگشتی راترفورد (RBS) بررسی می شود. همچنین، نحوه توزیع ناخالصی آرسنیک و عمق آن از جمله مسایلی است که می توان بدین وسیله مطالعه کرد. مقایسه این نتایج با کارهای قبلی انجام شده در زمینه اکسیداسیون سیلیسیم برای نمونه های کشت شده، افزایش سرعت رشد را نشان میدهد. ایجاد Shallow Junction ها از جمله نتایج مورد انتظار است
کلیدواژه ها:
نویسندگان
داود آقاعلی گل
سازمان انرژی اتمی ایران، مرکز تحقیقات هسته ای، بخش واندوگراف
علی باقی زاده
سازمان انرژی اتمی ایران، مرکز تحقیقات هسته ای، بخش واندوگراف
داریوش فتحی
دانشگاه خواجه نصیرالدین طوسی - تهران خیابان شریعتی - خیابان جلفا، دانشکده علوم - گروه فیزیک