ساخت لایه های نازک نانو ساختار TiO2- SnO2 تهیه شده به روش های باریکه الکترونی و سل ژل به عنوان حسگر اتانول

لایه های نازک نانوساختار TiO2-SnO2 بر روی زیرلایه شیشه به روشهای باریکه الکترونی و سل ژل ساخته شدند. خواص ساختاری سطح، مورفولوژی و عبوراپتیکی لایه ها توسط پراش پرتو ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی و بینابسنج UV/VIS/NIR انجام پذیرفت. ضخامت لایه های نازک کمتر از 300 نانومتر اندازه گیری شد. اندازه دانه ها در روش باریکه الکترونی 20 و در روش سل ژل 30 نانومتر تخمین زده شد. خواص حسگری لایه های نازک نانوساختار در حضور گاز اتانول با آهنگ های شارش 2400 cc/min، 2000 و 1800 دمای 200 درجه سانتیگراد بررسی شد. در هردو روش، با افزایش شارش گاز خاصیت حسگری افزایش یافت اما در روش سل ژل خاصیت حسگری به دلیل نقص های شبکه و محدودیت مناطق حسگری اندکی کمتر مشاهده شد.